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标题
Kinetic analysis of face-centered-cubic Ti1−Al N film deposition by chemical vapor deposition
化学气相沉积面心立方Ti1-AlN薄膜的动力学分析
相关领域
化学气相沉积 沉积（地质） 面子（社会学概念） 燃烧化学气相沉积 材料科学 混合物理化学气相沉积 动能 化学工程 分析化学（期刊） 化学 纳米技术 薄膜 碳膜 环境化学 地质学 物理 工程类 社会学 古生物学 量子力学 社会科学 沉积物
网址
https://doi.org/10.1016/j.mseb.2020.114992
DOI
10.1016/j.mseb.2020.114992 doi
其它 期刊：Materials Science and Engineering B
作者：Momoko Deura; Hiroki Sato; Jun Yamaguchi; Tomoko Hirabaru; Hayato Kubo; et al
出版日期：2020-12-10
求助人
汉堡包 在 2025-07-02 20:07:28 发布，悬赏 10 积分
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  • 18小时前

    可爱的函函 可爱的函函 Lv12 上传了文件

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  • 1天前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

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    20:07:30 科研通AI机器人（上海）收到请求，开始寻找文献
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  • 1天前

    汉堡包 汉堡包 Lv12 求助人 发起了本次求助

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