发布文献求助
已完结
  • 文献求助详情
标题
Applications of AFM in semiconductor R&D and manufacturing at 45 nm technology node and beyond
原子力显微镜在45纳米技术节点及以上半导体研发和制造中的应用
相关领域
临界尺寸 计量学 微电子 纳米技术 材料科学 节点（物理） 半导体器件制造 半导体 原子力显微镜 光掩模 平版印刷术 计算机科学 光电子学 薄脆饼 光学 物理 抵抗 量子力学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1117/12.813389
DOI
10.1117/12.813389 doi
其它 期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者：Moon‐Keun Lee; Minjung Shin; Tianming Bao; Chulgi Song; Dean J. Dawson; et al
出版日期：2009-03-13
求助人
9579 在 2025-04-09 22:11:05 发布自比利时，悬赏 20 积分
下载 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
该求助已完结，感谢关注
如需该文献，请重新发布求助，前往发布
有了科研通，下载文献真轻松！
请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
斯文败类的应助被视野胤采纳，获得10
1秒前
pqy发布了新的文献求助10
3秒前
怡然乌的应助被迷人雪碧采纳，获得10
3秒前
彭于晏的应助被科研通管家采纳，获得10
5秒前
wanci的应助被科研通管家采纳，获得10
5秒前
共享精神的应助被科研通管家采纳，获得10
5秒前
十二的应助被科研通管家采纳，获得10
5秒前
大模型的应助被科研通管家采纳，获得10
6秒前
6秒前
6秒前
6秒前
袁同学完成签到，获得积分10
7秒前
9秒前
10秒前
温柔的化蛹完成签到，获得积分20
11秒前
耳机单蹦完成签到，获得积分10
11秒前
视野胤完成签到，获得积分10
13秒前
pqy发布了新的文献求助10
14秒前
14秒前
14秒前
挣扎毕业的中年少女完成签到 ，获得积分10
16秒前
淡定从凝发布了新的文献求助10
17秒前
视野胤发布了新的文献求助10
18秒前
18秒前
田様的应助被落寞向松采纳，获得10
19秒前
19秒前
chenfeng2163发布了新的文献求助10
19秒前
mnwkwcj完成签到，获得积分10
21秒前
bkagyin的应助被醉酒笑红尘采纳，获得10
21秒前
天天快乐的应助被Stroeve采纳，获得10
22秒前
22秒前
pqy发布了新的文献求助10
23秒前
10086wm发布了新的文献求助10
23秒前
苏苏完成签到 ，获得积分10
25秒前
开心蘑菇的应助被马梦茹采纳，获得10
26秒前
卷卷完成签到，获得积分10
26秒前
猫猫头完成签到 ，获得积分10
27秒前
28秒前
娴娴超爱笑完成签到，获得积分10
28秒前
pqy发布了新的文献求助10
29秒前
高分求助中
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
Indomethacinのヒトにおける経皮吸収 400
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 370
基于可调谐半导体激光吸收光谱技术泄漏气体检测系统的研究 330
Composite Predicates in English 300
Aktuelle Entwicklungen in der linguistischen Forschung 300
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 3982261
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3525894
关于积分的说明 11229098
捐赠科研通 3263783
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1801673
邀请新用户注册赠送积分活动 879972
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 807716
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通