Evidence for structural transition in crystalline tantalum pentoxide films grown by RF magnetron sputtering

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标题	Evidence for structural transition in crystalline tantalum pentoxide films grown by RF magnetron sputtering 射频磁控溅射五氧化二钽薄膜结构转变的证据相关领域材料科学正交晶系五氧化二钽拉曼光谱溅射沉积钽退火（玻璃）分析化学（期刊）六角相薄膜溅射结晶学晶体结构化学光学纳米技术复合材料冶金物理六方晶系色谱法
网址	https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2017.04.073 AI链接 arxiv.org arxiv.org arxiv.org arxiv.org datacite.orgdoi.org
DOI	10.1016/j.jallcom.2017.04.073 doi
其它	期刊：Journal of Alloys and Compounds 作者：Israel Pérez; José Luis Enríquez-Carrejo; Vı́ctor Sosa; F. Gamboa; Rurik Farías; et al 出版日期：2017-04-11
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