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 Dispersion of particles and airflow optimization for a semiconductor cleanroom 半导体洁净室的颗粒分散和气流优化
相关领域
洁净室
气流
半导体
色散（光学）
机械
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纳米技术
热力学
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期刊：Journal of Aerosol Science 作者：Chunli Tang; Tianchi Liang; Kambiz Vafai 出版日期：2025-03-01 |
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