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Dispersion of particles and airflow optimization for a semiconductor cleanroom

洁净室 气流 半导体 色散（光学） 机械 环境科学 材料科学 光学 物理 光电子学 纳米技术 热力学
作者
Chunli Tang,Tianchi Liang,Kambiz Vafai
出处
期刊：Journal of Aerosol Science [Elsevier BV]
日期：2025-03-01 卷期号：: 106570-106570 被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.jaerosci.2025.106570
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