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 Efficient silicon nitride SiNx:H antireflective and passivation layers deposited by atmospheric pressure PECVD for silicon solar cells 硅太阳能电池用大气压PECVD沉积高效氮化硅SiNx：H减反射和钝化层
相关领域
等离子体增强化学气相沉积
钝化
材料科学
氮化硅
防反射涂料
化学气相沉积
硅
光电子学
分析化学（期刊）
纳米技术
图层（电子）
化学
色谱法
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期刊：Progress in Photovoltaics 作者：J.‐F. Lelièvre; Bishal Kafle; Pierre Saint‐Cast; Paul Brunet; Romain Magnan; et al 出版日期：2019-06-06 |
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