Shape and Roughness Extraction of Line Gratings by Small Angle X-Ray Scattering: Statistics and Simulations

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标题	Shape and Roughness Extraction of Line Gratings by Small Angle X-Ray Scattering: Statistics and Simulations
网址	https://doi.org/10.1109/TSM.2022.3176026
DOI	10.1109/TSM.2022.3176026 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 作者：Jerome Reche; Patrice Gergaud; Yoann Blancquaert; Maxime Besacier; Guillaume Freychet 出版日期：2022
求助人	孤独的夏青在 2026-05-09 15:37:58 发布自安徽，悬赏 10 积分
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Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)

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