Review of Material Properties of Oxide Semiconductor Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition for Next-Generation 3D Dynamic Random-Access Memory Devices

已完结

文献求助详情

标题	Review of Material Properties of Oxide Semiconductor Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition for Next-Generation 3D Dynamic Random-Access Memory Devices
网址	https://doi.org/10.1021/acs.chemmater.3c02223
DOI	10.1021/acs.chemmater.3c02223 doi
其它	期刊：Chemistry of Materials 作者：Ae Rim Choi; Dong Hyun Lim; So‐Yeon Shin; Hye Joo Kang; Dohee Kim; et al 出版日期：2024-02-26
求助人	唐逗仁儿在 2026-08-07 16:22:58 发布自重庆，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

上个求助

下个求助

Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

有了科研通，下载文献真轻松！

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: Nov完成签到，获得积分20

1秒前; 小夏完成签到，获得积分10

1秒前; 斯文败类上传了应助文件

1秒前; 慕青的应助被小萌子采纳，获得10

1秒前; efficient发布了新的文献求助10

1秒前; 胡江完成签到，获得积分10

2秒前; Wang发布了新的文献求助10

2秒前; 汉堡包上传了应助文件

2秒前; 修仙中上传了应助文件

2秒前; 沉默采珊发布了新的文献求助10

3秒前; 辞修完成签到，获得积分10

3秒前; 独特的幼菱发布了新的文献求助30

4秒前; 沉默俊驰完成签到，获得积分20

5秒前; 生动的盼波完成签到，获得积分10

5秒前; 我能私信骂你吗上传了应助文件

5秒前; 希望天下0贩的0的应助被moujing采纳，获得10

5秒前; 1234发布了新的文献求助10

6秒前; Mmxn上传了应助文件

6秒前; 慕青上传了应助文件

6秒前; ly0815发布了新的文献求助10

6秒前; DW上传了应助文件

6秒前; 七七发布了新的文献求助10

6秒前; 麻瓜的应助被BLING采纳，获得10

7秒前; sawatuen上传了应助文件

7秒前; 桐桐上传了应助文件

7秒前; 杜宇发布了新的文献求助10

7秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

8秒前; 脑洞疼上传了应助文件

8秒前; maguodrgon发布了新的文献求助10

8秒前; 辞修发布了新的文献求助10

9秒前; 落寞电灯胆关闭了落寞电灯胆的文献求助

9秒前; 大壮完成签到，获得积分10

9秒前; 李健的粉丝团团长上传了应助文件

9秒前; Fairy发布了新的文献求助10

9秒前; 科研通AI6.4的应助被Sujikkk采纳，获得10

9秒前; 烟花上传了应助文件

10秒前; 年轻金毛完成签到，获得积分10

11秒前; Darren123完成签到，获得积分10

11秒前; wzait07完成签到，获得积分10

12秒前; 丘比特的应助被hZC采纳，获得10

12秒前