Effect of growth temperature on the structural and electrical properties of sputter-epitaxial ScAlN on AlGaN/AlN/GaN heterostructures

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标题	Effect of growth temperature on the structural and electrical properties of sputter-epitaxial ScAlN on AlGaN/AlN/GaN heterostructures
网址	http://dx.doi.org/10.1063/5.0281540
DOI	10.1063/5.0281540 doi
其它	期刊：APL Materials 作者：Shunsuke Ota; Tomoya Okuda; Kouei Kubota; Yusuke Wakamoto; Takuya Maeda; et al 出版日期：2025-08-01
求助人	829302yft 在 2026-08-18 20:09:48 发布自上海，悬赏 10 积分
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