Effect of reactor geometry and growth parameters on the uniformity and material properties of grown by hydride vapor-phase epitaxy

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标题	Effect of reactor geometry and growth parameters on the uniformity and material properties of grown by hydride vapor-phase epitaxy
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S002202489...
DOI	10.1016/s0022-0248(97)00375-8 doi
其它	期刊：Journal of Crystal Growth 作者：S.A. Safvi; N.R. Perkins; M.N. Horton; R. Matyi; T.F. Kuech 出版日期：2003-05-19
求助人	小美在 2026-08-18 18:18:34 发布自山东，悬赏 10 积分
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