Low density diamond-like carbon for pellicle application

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标题	Low density diamond-like carbon for pellicle application
网址	https://doi.org/10.1117/12.3034735
DOI	10.1117/12.3034735 doi
其它	期刊：International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography 2024 作者：Mohammad Saghayezhian; JoJo Daof; Vincent Ip; Katrina Rook; Meng H. Lee; et al 出版日期：2026-06-29
求助人	李元亨在 2026-07-24 17:38:13 发布自安徽，悬赏 20 积分
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