Optimization of a TiN PE-MOCVD Process Using DoE Methodology

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标题	Optimization of a TiN PE-MOCVD Process Using DoE Methodology
网址	http://dx.doi.org/10.1149/2.0161707jss
DOI	10.1149/2.0161707jss doi
其它	期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：D. Geringswald; B. Hintze; M. Ernst 出版日期：2017-01-01
求助人	子不语在 2026-06-30 11:11:35 发布自江苏，悬赏 10 积分
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