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 Optimizing Temperature and Flow Fields of 4H-SiC Epitaxial Growth by Integrating CFD Simulation with Multi-objective Particle Swarm Optimization 相关领域
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期刊： 作者：Jing Tian; Zhuorui Tang; Hongyu Tang; Jiajie Fan; Guoqi Zhng 出版日期：2023-08-08 |
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