Line width narrowing of superconducting nanowire single photon detectors using atomic layer etching

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标题	Line width narrowing of superconducting nanowire single photon detectors using atomic layer etching 相关领域蚀刻（微加工）纳米线材料科学超导电性图层（电子）探测器纳米光刻光电子学直线（几何图形）纳米技术凝聚态物理光学物理制作数学替代医学医学病理几何学
网址	https://doi.org/10.1063/5.0252913
DOI	10.1063/5.0252913 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Daniel N. Shanks; Jason P. Allmaras; Sahil R. Patel; Boris Korzh; Emma E. Wollman; et al 出版日期：2025-03-01
求助人	lly 在 2026-01-07 01:23:11 发布自天津，悬赏 10 积分
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