Simulation of mode transitions in capacitively coupled Ar/O2 plasmas

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标题	Simulation of mode transitions in capacitively coupled Ar/O2 plasmas
网址	https://doi.org/10.1088/2058-6272/ad668d
DOI	10.1088/2058-6272/ad668d doi
其它	期刊：Plasma Science and Technology 作者：Xiangmei 相梅 LIU 刘; Shuren 树人 ZHANG 张; Shuxia 书霞 ZHAO 赵; Hongying 洪影 LI 李; Xiaohui 晓辉 REN 任出版日期：2024
求助人	七秒在 2026-01-19 16:38:42 发布自中国，悬赏 10 积分
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