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Effect of downsizing and metallization on switching performance of ultrathin hafnium oxide memory cells 相关领域
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期刊:Materials Science in Semiconductor Processing 作者:Ş. Kalem; Serdar B. Tekin; Zahit Evren Kaya; E. Jalaguier; Robin Roelofs; et al 出版日期:2023-01-28 |
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