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 Ultra-low subthreshold swing in oxide TFTs via HiPIMS high-k HfO2 gate dielectric using atmosphere annealing 相关领域
退火（玻璃）
材料科学
光电子学
栅极电介质
电介质
高功率脉冲磁控溅射
阈下传导
薄膜晶体管
栅氧化层
氧化物
大气（单位）
高-κ电介质
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电气工程
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图层（电子）
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期刊：Applied Surface Science 作者：Ming-Jie Zhao; Yao-Tian Wang; Jiahao Yan; Haicheng Li; Hua Xu; et al 出版日期：2024-12-10 |
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