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Surface Planarization of CdZnTe Wafers: Effect of Slurry Formulation and CMP Processing Parameters on Surface Planarity
相关领域
化学机械平面化 泥浆 材料科学 薄脆饼 磨料 表面粗糙度 研磨 抛光 基质(水族馆) 纳米颗粒 复合材料 化学工程 纳米技术 海洋学 地质学 工程类
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DOI
10.1149/2162-8777/ac8b35 doi
其它 期刊:ECS Journal of Solid State Science and Technology
作者:Mohd Qasim; P. Parthiban; Dibakar Das
出版日期:2022-08-01
求助人
香椿炒鸡子er 在 2026-01-31 13:43:53 发布自北京,悬赏 10 积分
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