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Bilayer HfO2/Sb2O3 gate dielectric stacks for transistors with 2D semiconducting channels 用于具有二维半导体沟道的晶体管的双层HfO2/Sb2O3栅极电介质堆叠
相关领域
材料科学
光电子学
栅极电介质
电介质
晶体管
双层
纳米技术
电气工程
化学
工程类
电压
膜
生物化学
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期刊:Science Bulletin 作者:Mario Lanza 出版日期:2023-10-12 |
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