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标题
Fabrication technology of capacitive micromachined ultrasonic transducers (CMUTs): A review
相关领域
材料科学 制作 电容感应 电容式微机械超声换能器 超声波传感器 传感器 表面微加工 光电子学 声学 微电子机械系统 压力传感器 超声波焊接 电容 超声波检测 导管
网址
https://doi.org/10.1016/j.matdes.2025.115360
AI链接 doi.orgdoi.org
DOI
10.1016/j.matdes.2025.115360 doi
其它 期刊：Materials & Design
作者：Qi Ding; Hong-Liang Wang; Tao Liu; Feng Zhang; Runze Yang; et al
出版日期：2025-12-01
求助人
gwkki 在 2026-11-06 09:33:14 发布自山东，悬赏 10 积分
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