Ultra-low loss dispersion-engineered silicon nitride waveguides on 300 mm wafers

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标题	Ultra-low loss dispersion-engineered silicon nitride waveguides on 300 mm wafers
网址	https://doi.org/10.1117/12.3043377
DOI	10.1117/12.3043377 doi
其它	期刊：作者：E. M. Kim; Lewis G. Carpenter; A. Matthew Smith; Christopher C. Tison; Daniel J. Coleman; et al 出版日期：2025-01-24
求助人	端端在 2026-10-11 20:01:47 发布自陕西，悬赏 20 积分
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