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Nanosheet-based Device Architectures with Front/Backside Connectivity: Opportunities for S/D Engineering to Enable Advanced CMOS Logic Scaling 具有前/后端连接的基于纳米片的器件架构:S/D工程实现高级CMOS逻辑扩展的机会
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期刊: 作者:A. Veloso; Geert Eneman; P. Matagne; A. De Keersgieter; Andriy Hikavyy; et al 出版日期:2023-06-08 |
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