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 Study of plasma etching impact on chemoepitaxy directed self-assembly 相关领域
蚀刻（微加工）
共聚物
材料科学
X射线光电子能谱
图层（电子）
接触角
甲基丙烯酸甲酯
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化学工程
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Maria Gabriela Gusmão Cacho; K. Benotmane; Aurélie Le Pennec; Charlotte Bouet; Patricia Pimenta‐Barros; et al 出版日期：2021-03-29 |
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