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标题
Electrochemical characterization of localized corrosion mechanism of ALD Al2O3-coated copper for microelectronic application
相关领域
腐蚀 微电子 材料科学 电化学 图层(电子) 冶金 原子层沉积 表征(材料科学) 纳米技术 电极 化学 物理化学
网址
DOI
10.1016/j.corsci.2024.112135 doi
其它 期刊:Corrosion Science
作者:Romain Haeffele; Sabrina Marcelin; Lucile Broussous; Lucie Mazet; Bernard Normand
出版日期:2024-05-14
求助人
GuanYZ 在 2026-01-08 16:47:36 发布自甘肃,悬赏 10 积分
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