Enhancement of crystal anisotropy and ferroelectricity by decreasing thickness in (Al,Sc)N films

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标题	[高分] Enhancement of crystal anisotropy and ferroelectricity by decreasing thickness in (Al,Sc)N films 减小（Al，Sc）N薄膜厚度增强晶体各向异性和铁电性
网址	https://doi.org/10.2109/jcersj2.21184
DOI	10.2109/jcersj2.21184 doi
其它	期刊：Journal of the Ceramic Society of Japan 作者：Shinnosuke Yasuoka; Ryoichi Mizutani; Reika Ota; Takahisa Shiraishi; Takao Shimizu; et al 出版日期：2022
求助人	细胞在 2025-12-05 14:54:24 发布自福建，悬赏 150 积分
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