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Metal–Organic Chemical Vapor Deposition of n‐AlGaN Grown on Strain‐Relaxed Distributed Bragg Reflector Buffer Layers 应变弛豫分布布拉格反射器缓冲层上生长n-AlGaN的金属有机化学气相沉积
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期刊:physica status solidi (b) 作者:Hisashi Yamada; Naoto Kumagai; Toshikazu Yamada 出版日期:2024-04-22 |
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