In situ, simultaneous spectroscopic ellipsometry and quadrupole mass spectrometry studies of ZnO etching using Hacac and O2 plasma

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标题	In situ, simultaneous spectroscopic ellipsometry and quadrupole mass spectrometry studies of ZnO etching using Hacac and O2 plasma
网址	https://doi.org/10.1116/6.0004417
DOI	10.1116/6.0004417 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A 作者：Terrick McNealy-James; Ruthlyn Mangroo; S. Novia Berriel; Luis Tomar; Eric Bissell; et al 出版日期：2025
求助人	积极的初南在 2026-01-28 05:47:37 发布自湖北，悬赏 10 积分
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