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 Frequency dependencies of the characteristics of an inductively coupled radiofrequency discharge at reduced pressure 减压下电感耦合射频放电特性的频率依赖性
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期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：T N Terentev; A. Yu. Shemakhin; E S Samsonova; В С Желтухин 出版日期：2022-08-30 |
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