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标题
Effective two-dimensional pattern generation for self-aligned double patterning
用于自对准双图案化的有效二维图案生成
相关领域
可制造性设计 多重图案 节点（物理） 计算机科学 材料科学 网格 基础（拓扑） 连接（主束） 比例（比率） 纳米技术 工程类 抵抗 机械工程 图层（电子） 结构工程 物理 数学 数学分析 几何学 量子力学
网址
https://doi.org/10.1109/iscas.2015.7169103
DOI
10.1109/iscas.2015.7169103 doi
其它 期刊：2022 IEEE International Symposium on Circuits and Systems (ISCAS)
作者：Takeshi Ihara; Atsushi Takahashi; Chikaaki Kodama
出版日期：2015-05-01
求助人
果子 在 2025-05-08 21:21:39 发布自江苏，悬赏 10 积分
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