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 Effective two-dimensional pattern generation for self-aligned double patterning 用于自对准双图案化的有效二维图案生成
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期刊：2022 IEEE International Symposium on Circuits and Systems (ISCAS) 作者：Takeshi Ihara; Atsushi Takahashi; Chikaaki Kodama 出版日期：2015-05-01 |
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