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标题
Determination of thicknesses and temperatures of crystalline silicon wafers from optical measurements in the far infrared region
通过远红外区光学测量确定晶体硅晶片的厚度和温度
相关领域
薄脆饼 晶体硅 材料科学 干扰(通信) 红外线的 透射率 远红外 色散(光学) 光学 近红外光谱 光电子学 物理 频道(广播) 电气工程 工程类
网址
DOI
10.1063/1.5026195 doi
其它 期刊:Journal of Applied Physics
作者:Daniel Franta; Pavel Franta; Jiří Vohánka; Martin Čermák; Ivan Ohlı́dal
出版日期:2018-05-14
求助人
visage 在 2025-04-30 18:28:05 发布自江苏,悬赏 10 积分
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