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标题
A green scheduling model for two-stage photo-etching and acid-etching collaboration in semiconductor manufacturing
半导体制造中两阶段光刻和酸刻协同的绿色调度模型
相关领域
蚀刻（微加工） 半导体 调度（生产过程） 半导体器件制造 材料科学 光电子学 阶段（地层学） 纳米技术 工程类 运营管理 地质学 古生物学 薄脆饼 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1016/j.jii.2024.100655
DOI
10.1016/j.jii.2024.100655 doi
其它 期刊：Journal of Industrial Information Integration
作者：Min Kong; Yajing Zhang; Jin Xu; Weizhong Wang; Shaojun Lu; et al
出版日期：2024-06-20
求助人
Song 在 2025-08-19 17:37:53 发布自吉林，悬赏 10 积分
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