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 Reducing the Linewidths and the Sizes of Metallic Patterns to the nm Scale by Ion-Milling 通过离子铣削将金属图案的线宽和尺寸减小到纳米尺度
相关领域
材料科学
离子
比例（比率）
金属
离子铣床
纳米技术
冶金
物理
量子力学
图层（电子）
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| 其它 |
期刊：Journal of the Korean Physical Society 作者：Jae Ho Bahng; Young-Kyu Hong; Ja‐Yong Koo 出版日期：2008-10-15 |
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