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标题
Damage profile evolution model based on the Boltzmann transport equation for silicon micromachining with the focused helium ion beam
基于玻尔兹曼输运方程的聚焦氦离子束硅微加工损伤演化模型
相关领域
无定形固体 材料科学 离子束 离子注入 离子 原子物理学 硅 梁（结构） 玻尔兹曼方程 氦 化学 光学 物理 光电子学 热力学 结晶学 有机化学
网址
https://doi.org/10.1016/j.sna.2021.112802
DOI
10.1016/j.sna.2021.112802 doi
其它 期刊：Sensors and Actuators A Physical
作者：Qi Li; Xiaohui Lin; Chibin Zhang; Qianhuang Chen; Tianyang Shao; et al
出版日期：2021-04-27
求助人
Mu5k 在 2025-08-18 20:18:47 发布，悬赏 10 积分
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