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标题
Influence of collision processes in the sheath on ion energy distribution functions in radio frequency discharges
鞘层碰撞过程对射频放电中离子能量分布函数的影响
相关领域
碰撞 碰撞频率 无线电频率 离子 能量分配 能量（信号处理） 原子物理学 物理 计算物理学 计算机科学 电信 量子力学 计算机安全
网址
https://doi.org/10.1116/6.0004221
DOI
10.1116/6.0004221 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：Yu-Meng Cui; Fang‐Fang Ma; Ziheng Liu; Nosir Matyakubov; Eugenia Krutsilina; et al
出版日期：2025-05-01
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含糊的雨安 在 2025-09-30 10:02:40 发布自上海，悬赏 10 积分
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