Investigation of large-area multicoil inductively coupled plasma sources using three-dimensional fluid model

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标题	Investigation of large-area multicoil inductively coupled plasma sources using three-dimensional fluid model 相关领域感应耦合等离子体等离子体多物理等离子体参数氩感应耦合等离子体窗口等离子体原子发射光谱等离子体模型物理计算物理学机械化学原子物理学核物理学热力学有限元法量子力学
网址	https://doi.org/10.7567/jjap.55.07ld08
DOI	10.7567/jjap.55.07ld08 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Jozef Brčka 出版日期：2016-06-23
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