Atomic-Level Polishing of Single-Crystal Diamond Using a Combination of Reactive Ion Etching and Chemical Mechanical Polishing

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标题	Atomic-Level Polishing of Single-Crystal Diamond Using a Combination of Reactive Ion Etching and Chemical Mechanical Polishing
网址	http://dx.doi.org/10.3390/ma19122677
DOI	10.3390/ma19122677 doi
其它	期刊：Materials 作者：Rongchen Zhang; Xiangbing Wang; Xuejian Cui; Yi Hong; Nan Jiang; et al 出版日期：2026-06-22
求助人	楼下太吵了在 2026-07-18 21:34:35 发布自天津，悬赏 10 积分
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