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 Iterative ESO-Based Data-Driven Active Disturbance Rejection Learning Control of Czochralski Silicon Single Crystal Growth Process 相关领域
硅
过程（计算）
扰动（地质）
晶体生长
材料科学
过程控制
控制理论（社会学）
迭代学习控制
计算机科学
光电子学
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化学
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期刊：2024 American Control Conference (ACC) 作者：Junchao Ren; Ding Liu; Yin Wan; Shuyan Shi; Yuyu Liu 出版日期：2024-07-10 |
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