Evaluation of the effect of surface roughness on thin film thickness measurements using variable angle XPS

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标题	Evaluation of the effect of surface roughness on thin film thickness measurements using variable angle XPS
网址	https://doi.org/10.1016/0169-4332(89)90500-x
DOI	10.1016/0169-4332(89)90500-x doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Yixin Yan; Martin A. Helfand; C.R. Clayton 出版日期：1989-08-01
求助人	znlm 在 2026-08-24 10:33:51 发布自河南，悬赏 10 积分
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