Research on influences of contact force in chemical mechanical polishing (CMP) process - 科研通

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标题	Research on influences of contact force in chemical mechanical polishing (CMP) process
网址	https://pubs.aip.org/aip/adv/article-pdf/doi/10.1063/1.49037...
DOI	10.1063/1.4903700 doi
其它	期刊：AIP Advances 作者：Lei Han; Hongwei Zhao; Qixun Zhang; Mingjun Jin; Lin Zhang; et al 出版日期：2014-12-05
求助人	Seasmall 在 2026-07-26 20:11:30 发布自北京，悬赏 10 积分
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American Institute of Physics (AIP)

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