Fast Pixelated Lithographic Source and Mask Joint Optimization Based on Compressive Sensing

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标题	Fast Pixelated Lithographic Source and Mask Joint Optimization Based on Compressive Sensing
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/6745852/8977810/09108556...
DOI	10.1109/tci.2020.3000010 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Computational Imaging 作者：Zhiqiang Wang; Xu Ma; Rui Chen; Shengen Zhang; Gonzalo R. Arce 出版日期：2020-06-05
求助人	健忘的从灵在 2026-09-01 20:34:49 发布自广东，悬赏 10 积分
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