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 Flat-fop femtosecond laser-induced thinning of SiC wafer substrate: Mechanisms, defect control, and process optimization 相关领域
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期刊：Optics & Laser Technology 作者：Yuhang Li; Lei Chen; Haiyan Shi; Xinya Peng; Zhe Zhang; et al 出版日期：2025-12-05 |
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