The Effects of RF Power and Cavity Structure on the Plasma Discharge Characteristics of RPS

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标题	The Effects of RF Power and Cavity Structure on the Plasma Discharge Characteristics of RPS
网址	https://doi.org/10.1109/ICEDCS60513.2023.00067
DOI	10.1109/ICEDCS60513.2023.00067 doi
其它	期刊：2023 International Conference on Electronics and Devices, Computational Science (ICEDCS) 作者：Hai Lin; Wei Su; Ming Chen; Renhuai Liu 出版日期：2023
求助人	七秒在 2026-03-16 11:33:23 发布自湖南，悬赏 10 积分
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