On the actuation nonlinearity of normal-stressed electromagnetic nanopositioning stages

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标题	On the actuation nonlinearity of normal-stressed electromagnetic nanopositioning stages
网址	https://doi.org/10.1016/j.precisioneng.2024.01.009
DOI	10.1016/j.precisioneng.2024.01.009 doi
其它	期刊：Precision Engineering 作者：Li Chen; Qiang Liu; LiMin Zhu; Zhiwei Zhu 出版日期：2024
求助人	晴天在 2026-05-13 19:36:18 发布自天津，悬赏 10 积分
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