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高温退火对蓝宝石衬底表面形貌的影响
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| 其它 | 系统研究了 1000°C 到 1150°C 的退火规律，通过 AFM 观察到了明显的台阶流形貌，并讨论了退火对改善后续 GaN 外延层晶体质量的作用。 |
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(2025-6-4)
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