Characteristics of a hybrid radio frequency capacitively and inductively coupled plasma using hydrogen gas - 科研通

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标题	Characteristics of a hybrid radio frequency capacitively and inductively coupled plasma using hydrogen gas 使用氢气的混合射频电容和电感耦合等离子体的特性相关领域感应耦合等离子体容性耦合等离子体等离子体无线电频率氢材料科学分析化学（期刊）物理化学电信计算机科学环境化学核物理学量子力学
网址	https://doi.org/10.1116/5.0213602
DOI	10.1116/5.0213602 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Yasunori Ohtsu; Tatsuo Tabaru; Julian Schulze 出版日期：2024-07-01
求助人	圆圆在 2024-09-19 15:20:51 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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