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标题
OES and FTIR diagnostics of HMDSO/O2 gas mixtures for SiOx deposition assisted by RF plasma
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网址
https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2004.07.048
AI链接 hal.sciencedoi.org
DOI
10.1016/j.surfcoat.2004.07.048 doi
其它 期刊：Surface and Coatings Technology
作者：M. Goujon; Thierry Belmonte; G. Henrion
出版日期：2004-09-14
求助人
hh 在 2026-01-25 02:43:48 发布自湖北，悬赏 10 积分
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