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 Effects of C4F8 plasma polymerization film on etching profiles in the Bosch process C4F8等离子体聚合膜对Bosch工艺刻蚀轮廓的影响
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Tomoyuki Nonaka; Kazuo Takahashi; Akimi Uchida; Stefan Lundgaard; Osamu Tsuji 出版日期：2023-10-02 |
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