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[求助补充材料]
Bio-inspired anti-slip and anti-adhesion surface with hemispherical microstructures for wafer handling 用于晶圆处理的具有半球形微结构的仿生防滑和防粘表面
相关领域
微观结构
薄脆饼
材料科学
粘附
表面粗糙度
纳米技术
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表面光洁度
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期刊:Tribology International 作者:Jianming Wu; Keju Ji; Shaobao Liu; Tingwei Huo; Xipeng Wang; et al 出版日期:2023-12-09 |
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