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Observer design for a nonlinear heat equation: Application to semiconductor wafer processing
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网址
https://doi.org/10.1016/j.jprocont.2022.09.004
AI链接 kit.edu kit.edudoi.org
DOI
10.1016/j.jprocont.2022.09.004 doi
其它 期刊：Journal of Process Control
作者：Alexander Schaum; Stefan Koch; Martin Kleindienst; Markus Reichhartinger; Thomas Meurer; et al
出版日期：2022-10-05
求助人
布知道 在 2026-01-12 16:31:05 发布自江苏，悬赏 10 积分
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