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 Atomic Layer Deposition of Ru by Using a New Ru-Precursor 用一种新的前驱体进行Ru原子层沉积
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期刊：ECS Transactions 作者：Jinhyung Lee; Yong Won Song; Kwangdong Lee; Youngmin Lee; Hyeok Kyu Jang 出版日期：2006-04-28 |
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